[实用新型]晶圆片铲片收纳刷洗装置

摘要

本实用新型涉及一种晶圆片铲片收纳刷洗装置，包括输送线及设置在输送线上的铲片单元、收纳单元、刷洗单元、烘干单元、清洗单元。该晶圆片铲片收纳刷洗装置通过铲片单元、收纳单元及刷洗单元的相互配合，能使晶圆片及陶瓷盘自动进入下一工位，自动化程度高，加工效率较高，且不会损伤晶圆片及陶瓷盘的表面，保证了产品质量。

主权项

1.一种晶圆片铲片收纳刷洗装置，其特征在于：包括输送线及设置在输送线上的铲片单元、收纳单元及刷洗单元；/n所述铲片单元用于将陶瓷盘上的晶圆片铲下，包括铲片支架、铲片动力件、滑块及铲板，所述铲片动力件固定在铲片支架上，铲片动力件通过滑块与铲板连接并可驱动其移动，所述铲板与水平面相倾斜，铲板一端与滑块底端铰接，铲板中部与滑块之间通过弹簧弹性连接，铲板受到压力时可绕滑块旋转，不受压力时通过弹簧复位；/n所述收纳单元对应设置在铲片单元一侧，用于接收铲片单元铲下的晶圆片，包括支架及设置在支架上的导向块、升降动力件、托架及收纳盒，所述导向块固定在支架顶端，导向块顶端开设有可供晶圆片通过的滑道，所述滑道与水平面相倾斜，所述托架对应设置在滑道的出口端，所述升降动力件与托架连接，所述收纳盒固定在托架上，收纳盒上开设有若干可供晶圆片插入的插槽，升降动力件可驱动托架及收纳盒上升或下降；/n所述刷洗单元对应设置在铲片单元的输出端，用于对陶瓷盘表面刷洗，包括转轴、毛刷、喷淋管及喷嘴，所述转轴为多个，对应设置在输送线通过的陶瓷盘上方和/或下方，各转轴上分别设置有多个毛刷，所述喷淋管对应设置在输送线通过的陶瓷盘上方和/或下方，各喷淋管上均布有多个喷嘴。/n