[实用新型]晶圆片收纳机构

摘要

本实用新型涉及一种晶圆片收纳机构，包括支架及设置在支架上的导向块、升降动力件、托架及收纳盒，所述导向块固定在支架顶端，导向块顶端开设有可供晶圆片通过的滑道，所述滑道与水平面相倾斜，所述托架对应设置在滑道的出口端，所述升降动力件与托架连接，所述收纳盒固定在托架上，收纳盒上开设有若干可供晶圆片插入的插槽，升降动力件可驱动托架及收纳盒上升或下降。该晶圆片收纳机构通过导向块及收纳盒的有效配合，能使晶圆片自动下滑进入收纳盒内收集，自动化程度高，加工效率较高，且不会损伤晶圆片，保证了产品质量。