[实用新型]一种光刻胶配套材料烘干设备有效
| 申请号： | 201921326822.3 | 申请日： | 2019-08-15 |
| 公开（公告）号： | CN210199499U | 公开（公告）日： | 2020-03-27 |
| 发明（设计）人： | 李永斌 | 申请（专利权）人： | 甘肃华隆芯材料科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16 |
| 代理公司： | 成都弘毅天承知识产权代理有限公司 51230 | 代理人： | 李春霖 |
| 地址： | 730900 甘肃省白银市白银区兰包路33*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种光刻胶配套材料烘干设备，包括连接在光刻胶涂覆机与烘干机构之间的传送机构，传送机构包括支撑架，连接在支撑架上的传动轴，套设在传动轴上的传送履带，传动轴上连接有驱动传动轴旋转的驱动机构，支撑架上连接有防尘罩。该烘干设备降低了工作人员对光刻胶晶片基板的转移的工作，提高了工作效率的同时还避免了转移过程中对晶片基板上的光刻胶造成污染，提高了光刻胶晶片基板的质量，提高了生产厂家的收益。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 配套 材料 烘干 设备 | ||
【主权项】：
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