[实用新型]一种化学气相沉积尾气在线回收处理装置有效
| 申请号： | 201921327999.5 | 申请日： | 2019-08-15 |
| 公开（公告）号： | CN210845584U | 公开（公告）日： | 2020-06-26 |
| 发明（设计）人： | 于金凤;秦宏硕;朱刘 | 申请（专利权）人： | 安徽光智科技有限公司 |
| 主分类号： | B01D46/00 | 分类号： | B01D46/00;B01D53/18;B01D53/00 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 颜希文;宋静娜 |
| 地址： | 239000 安徽省滁州市琅琊区琅琊经济*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种化学气相沉积尾气在线回收处理装置，其包括电气控制系统、供气系统、化学气相沉积炉、收尘系统、过滤器、真空泵、油雾分离器、低温冷凝回收装置和尾气处理系统。本实用新型的化学气相沉积尾气在线回收处理装置设有对尾气进行粉尘过滤的收尘系统和过滤器，一方面可对真空泵起到保护作用，另一方面可去除尾气中的粉尘，降低后续处理的负荷，提高冷却回收气体的洁净度；还设有对尾气进行冷凝回收的低温冷凝回收装置，可在线回收工艺气体，回收率高达90％以上，大大降低了尾气处理系统的处理量和负荷，减少资源浪费，降低了产品的生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 化学 沉积 尾气 在线 回收 处理 装置 | ||
【主权项】：
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