[实用新型]一种晶体生长的装置有效
申请号: | 201921330327.X | 申请日: | 2019-08-16 |
公开(公告)号: | CN211199473U | 公开(公告)日: | 2020-08-07 |
发明(设计)人: | 李辉;王海丽;陈建荣;黄存新 | 申请(专利权)人: | 北京中材人工晶体研究院有限公司 |
主分类号: | C30B29/28 | 分类号: | C30B29/28;C30B15/00 |
代理公司: | 北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙) 11435 | 代理人: | 赵奕 |
地址: | 100018 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种晶体生长的装置,所述第一保温筒体、保温盖体与所述保温底盘围成用于容纳晶体生长过程中所述铱金坩埚及籽晶的容纳空间,感应线圈进行加热,第一保温筒体、保温盖体、保温缓冲层、第二保温筒体对所述铱金坩埚及籽晶所在容纳空间进行保温,通过导杆轴向的散热通道对容纳空间进行散热,通过铱金坩埚旋转使铱金坩埚内熔体的温度均匀,利于晶体各部分均匀性生长,进一步,通过所述导杆带动所述籽晶的旋转方向与所述驱动机构驱动所述铱金坩埚的旋转方向相反更进一步提升了生长晶体各部分的均匀性,使晶体能在设定的理想生长温度环境内进行生长,所得晶体完整性好,无开裂。 | ||
搜索关键词: | 一种 晶体生长 装置 | ||
【主权项】:
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