[实用新型]一种基于两步法的超精密圆度测量装置有效
| 申请号： | 201921343531.5 | 申请日： | 2019-08-19 |
| 公开（公告）号： | CN210426423U | 公开（公告）日： | 2020-04-28 |
| 发明（设计）人： | 史生宇;徐文华;文志荣;祝隽永;殷小春;瞿金平 | 申请（专利权）人： | 华南理工大学 |
| 主分类号： | G01B7/28 | 分类号： | G01B7/28 |
| 代理公司： | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人： | 梁睦宇 |
| 地址： | 510640 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种基于两步法的超精密圆度测量装置，包括基座、第一转台、第二转台、三爪卡盘、位移传感器和高度调节机构；所述第一转台安装于基座上；所述第二转台通过磁力吸座安装于第一转台上；所述三爪卡盘安装于第二转台上；所述第一转台的中轴线、第二转台的中轴线和三爪卡盘的中轴线均位于同一直线上；所述高度调节机构的下端安装于基座上；所述位移传感器的一端安装于高度调节机构，且所述位移传感器的探头轴线与基座表面平行。本实用新型的测量装置结构简单，且采用有效的手段以抑制测量不确定度的传播，令测量不确定度达到最小，测量精度达到最高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 步法 精密 测量 装置 | ||
【主权项】：
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