[实用新型]一种靶材浇铸加热装置有效
申请号: | 201921362100.3 | 申请日: | 2019-08-21 |
公开(公告)号: | CN210305714U | 公开(公告)日: | 2020-04-14 |
发明(设计)人: | 黄汝峰;刘贵兵 | 申请(专利权)人: | 东莞市欧莱溅射靶材有限公司 |
主分类号: | B22D27/04 | 分类号: | B22D27/04;B22D46/00 |
代理公司: | 北京天盾知识产权代理有限公司 11421 | 代理人: | 林晓宏 |
地址: | 523000 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种靶材浇铸加热装置,包括加热平台和电控柜,加热平台安装有三组发热管组和三个热电偶,电控柜内设有温度控制电路,温度控制电路设置有三相电源输入端口、加热支路和温度反馈支路,加热支路设置有三相调压模块,三相调压模块和发热管组支路串联而成一加热支路,温度反馈支路设置有三个温控器、第一接触器KM2、第二接触器KM3和第三接触器KM4,第一接触器KM2的线圈、第二接触器KM3的线圈和第三接触器KM4的线圈分别电连接于三个温控器的信号输出接口,各温控器的信号输入接口分别各热电偶,以实现接收各热电偶的电流信号或电压信号。本实用新型采用能够使得加热平台处于恒温状态,以实现对温度精准的控制。 | ||
搜索关键词: | 一种 浇铸 加热 装置 | ||
【主权项】:
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