[实用新型]一种ITO旋转靶绑定设备有效
| 申请号： | 201921362131.9 | 申请日： | 2019-08-21 |
| 公开（公告）号： | CN210506501U | 公开（公告）日： | 2020-05-12 |
| 发明（设计）人： | 陈明恒 | 申请（专利权）人： | 东莞市欧莱溅射靶材有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/08 | 分类号： | C23C14/08;C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京天盾知识产权代理有限公司 11421 | 代理人： | 李少欢 |
| 地址： | 523000 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种ITO旋转靶绑定设备，包括背管内加热装置、升降平台和工装定位装置，背管内加热装置固定于地面，升降平台滑动安装于背管内加热装置的一侧，背管内加热装置包括加热管和底座，底座固定于地面，加热管竖直安装于底座；工装定位装置包括工装底盘、定位环、拉杆和端盖，加热管穿过工装底盘，工装底盘的一端活动放置于底座，工装底盘的另一端安装有定位环，背管的一端插入至定位环，背管的另一端安装有端盖，工装底盘的边缘设置有底盘孔，端盖的边缘设置有端盖孔，端盖孔与底盘孔的位置相对应，拉杆的两端分别安装于位置对应的端盖孔和底盘孔。本ITO旋转靶绑定设备，ITO靶材绑定质量稳定，绑定效果好，生产效率高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 ito 旋转 绑定 设备 | ||
【主权项】：
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