[实用新型]一种五轴硅盘缺陷宏观检测设备有效
| 申请号： | 201921364416.6 | 申请日： | 2019-08-21 |
| 公开（公告）号： | CN210834106U | 公开（公告）日： | 2020-06-23 |
| 发明（设计）人： | 高志远;吴金辉;潘伍;白晓青;王瑞锋;张刊 | 申请（专利权）人： | 上海诺银机电科技有限公司 |
| 主分类号： | G01M13/00 | 分类号： | G01M13/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201799 上海市青*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及检测设备技术领域，尤其为一种五轴硅盘缺陷宏观检测设备，包括支撑板，所述支撑板底部的两侧均焊接有支撑腿，所述支撑板的顶部设有检测台，所述检测台的顶部栓接有限位圈，所述支撑板的底部设有用于调节检测台角度的动力结构，所述检测台的内部设有若干个用于顶起硅盘的顶起结构，所述检测台的顶部设有用于检测硅盘的检测结构，所述检测结构的左侧转动连接L型支撑杆；本实用新型通过采用动力结构来对检测台的位置进行调节，从而使五轴硅盘的位置进行调节，方便其进行检测，接着通过顶起结构来对五轴硅盘进行顶起，方便五轴硅盘进行上下料作业，使五轴硅盘减少因上下料而出现磨损的情况。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 五轴硅盘 缺陷 宏观 检测 设备 | ||
【主权项】：
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