[实用新型]一种离子氮化炉组合底座有效
| 申请号： | 201921364942.2 | 申请日： | 2019-08-22 |
| 公开（公告）号： | CN211227298U | 公开（公告）日： | 2020-08-11 |
| 发明（设计）人： | 李占岭;高洁;潘修河 | 申请（专利权）人： | 江苏苏德涂层有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06 |
| 代理公司： | 北京劲创知识产权代理事务所(普通合伙) 11589 | 代理人： | 王闯 |
| 地址： | 213001 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种离子氮化炉组合底座，包括底座，所述底座下方的中心位置处设置有延伸至底座内部的真空泵接口，且底座上方位于真空泵接口的一侧安装有贯穿底座的阴极，所述阴极远离真空泵接口的一侧设置有与底座底部连接的阳极，且阳极远离阴极的一侧设置有与底座底部连接的冷却水进水口，所述底座底部远离冷却水进水口的一侧设置有冷却水出水口。本实用新型通过在底座上方安装隔热屏进行隔热，且配合底座的下方冷却循环水仅对密封圈进行冷却，进而使冷却面积大幅度减少，从而减少了热量的损失，减少了成本，且通过底层工件使升温速度加快，并使被加工的产品温度均匀性大幅度提高，从而很好的解决了传统冷壁式氮化炉底座的缺陷。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 离子 氮化 组合 底座 | ||
【主权项】：
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