[实用新型]利用CVD方法生长二维薄膜的载具

摘要

本实用新型提供了一种利用CVD方法生长二维薄膜的载具，应用于一CVD设备，载具包括底座、底板以及多个生长板。底座具有第一限位结构；底板设于底座上，底板的下表面具有与第一限位结构配合的第二限位结构，底板的上表面具有第三限位结构；底座设置拱形支脚，便于传送；多个生长板用于承载多片生长衬底，多个生长板堆叠设置，并设于底板的上表面；多个生长板中位于最下方的生长板的下表面具有与第三限位结构配合的第四限位结构；相邻两个生长板的两个相对的表面上分别设有相互配合的第五限位结构和第六限位结构。本实用新型的载具借助第一至第六限位结构相互配合，使得连接牢固，不易发生错位或倾斜，且具有部件少，易于拆卸装配的优点。