[实用新型]一种便于清洗的铂金坩埚有效

专利信息
申请号: 201921378086.6 申请日: 2019-08-23
公开(公告)号: CN210386870U 公开(公告)日: 2020-04-24
发明(设计)人: 汪贵华;易家良;曹发忠;潘守芹 申请(专利权)人: 南京恒芯光电科技有限公司
主分类号: B08B9/087 分类号: B08B9/087;B08B9/093;B08B13/00;B01D29/03;B01L3/04
代理公司: 北京中企鸿阳知识产权代理事务所(普通合伙) 11487 代理人: 苏艳
地址: 211100 江苏省南京市*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型公开了一种便于清洗的铂金坩埚,包括机体,所述机体的顶部设置清洗池,清洗池与机体上顶面嵌合,本实用新型采用导槽与升降板配合,即可由支撑柱对升降板进行导向,并由第二气缸进行支撑,高度调整更加方便,结构更加稳定;采用滑块与偏心座内滑槽配合,对滑座进行导向支撑,即可由U型滑座对第二电机进行支撑,从而由第一电机带动偏心座回转,进而带动第二电机回转,同时由第二电机带动圆筒刷对坩埚内壁进行清洁,清洗效率更高,并且调整滑块在偏心座内的位置,即可调整圆筒刷的清洁半径,适应范围更广,并且结构更加稳定。
搜索关键词: 一种 便于 清洗 铂金 坩埚
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