[实用新型]一种偏振不敏感型模斑转换器

摘要

本实用新型公开了一种偏振不敏感型模斑转换器，能实现硅纳米波导和光纤之间的偏振不敏感高效耦合。通过基于多层相位匹配波导的定向耦合器结构实现底层硅纳米波导与上层多层波导之间的横电模和横磁模的高效模式耦合与能量转换。引入模式过渡器实现横磁模无损耗转换，进而实现底层横磁模与横电模独立耦合。通过偏振合束器将耦合至上层多层波导中的横电模与横磁模进行合并，进而与光纤实现偏振不敏感耦合。本实用新型具有耦合性强、工艺成熟、CMOS工艺兼容性高的进步，可实现批量化制造，其生产效率较高，具有显著的竞争优势。