[实用新型]贴膜装置以及用于形成图案的处理设备有效
| 申请号： | 201921419609.7 | 申请日： | 2019-08-28 |
| 公开（公告）号： | CN210894989U | 公开（公告）日： | 2020-06-30 |
| 发明（设计）人： | 程峰;董维 | 申请（专利权）人： | 武汉衍熙微器件有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京市隆安律师事务所 11323 | 代理人： | 廉振保 |
| 地址： | 430205 湖北省武汉市江夏区经济开发区*** | 国省代码： | 湖北;42 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种贴膜装置以及用于形成图案的处理设备，包括机械手8和围绕机械手8设置的装卸料平台1、对位单元2、贴膜/切膜单元3、撕膜单元4。安装在装卸料平台1上的晶圆W由机械手8运送，依次通过光学对位确认晶圆W的位置、在晶圆W贴干膜、按照晶圆W的大小沿其边缘切割干膜，撕去干膜表面的保护层的工艺。撕膜单元4与装卸料平台1之间设置显影单元5和与曝光装置20传送晶圆W的传送机构30。撕膜单元4和显影单元5分别通过传送机构30向曝光装置20输送和接收晶圆W。运送机构8与传送机构30协同工作，将显影单元5中的晶圆W运送至装卸料平台1。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 以及 用于 形成 图案 处理 设备 | ||
【主权项】：
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