[实用新型]无热阵列波导光栅有效
| 申请号： | 201921427329.0 | 申请日： | 2019-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN210442536U | 公开（公告）日： | 2020-05-01 |
| 发明（设计）人： | 陈亦凡;郑睿 | 申请（专利权）人： | 易锐光电科技（安徽）有限公司;苏州易锐光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B6/12 | 分类号： | G02B6/12 |
| 代理公司： | 苏州谨和知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32295 | 代理人： | 唐静芳 |
| 地址： | 243000 安徽省马鞍山*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种无热阵列波导光栅，包括硅基衬底，和设置于所述硅基衬底之上的无热阵列波导，其具体包括包层与波导芯层，所述芯层设于所述包层之中，并且其折射率高于所述包层的折射率；所述波导芯层包括周期性设置的多层结构，所述多层结构包括：双层二氧化硅材料以及设置于所述双层二氧化硅材料之间的负温度系数材料；所述负温度系数材料用于对所述硅基衬底受热后尺寸形变进行补偿，以减小该无热阵列波导光栅的温漂系数。本实用新型的技术方案简化了传统无热型阵列波导光栅的波导芯层结构，在芯层结构中引入负温度系数材料，使波导结构最终的折射率温度系数是负数，最终保证该光栅的温漂系数满足工艺需求，从而实现无热型工作条件。 | ||
| 搜索关键词： | 阵列 波导 光栅 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于易锐光电科技（安徽）有限公司;苏州易锐光电科技有限公司，未经易锐光电科技（安徽）有限公司;苏州易锐光电科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201921427329.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种发动机顶盖压装装置
- 下一篇：一种蓝宝石晶体生产用组装式耐高温坩埚
