[实用新型]一种溅射镀膜机的辅助冷却系统有效
| 申请号： | 201921428056.1 | 申请日： | 2019-08-29 |
| 公开（公告）号： | CN210620927U | 公开（公告）日： | 2020-05-26 |
| 发明（设计）人： | 唐志强;姜钧 | 申请（专利权）人： | 承德奥斯力特电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京方韬法业专利代理事务所(普通合伙) 11303 | 代理人： | 朱丽华 |
| 地址： | 067000 河北省*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种溅射镀膜机的辅助冷却系统，包括依次通过管道连接的储气罐、制冷装置、电磁阀、流量调节阀和溅射辅助室，溅射辅助室设置在溅射真空室内的基片运行轨道上，且至少位于第一溅射室的后方。还包括设置在溅射辅助室内的温度传感器，和与温度传感器、电磁阀和流量调节阀连接的控制器。辅助冷却系统包括两个以上的溅射辅助室，两个以上的溅射辅助室间隔设置在多个溅射室之间。本实用新型能实现对溅射镀膜过程中基片温度的降低，防止基片温度太高导致的氧化或变色现象的发生，提高溅射镀膜产品的外观。还通过多个溅射辅助室的设置，实现对需要多次溅射镀膜基片的多次冷却，能更好的控制溅射镀膜基片的温度，保证溅射镀膜基片的质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 溅射 镀膜 辅助 冷却系统 | ||
【主权项】：
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