[实用新型]一种用于分子束外延生产设备中的托板结构有效
| 申请号： | 201921428587.0 | 申请日： | 2019-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN210481573U | 公开（公告）日： | 2020-05-08 |
| 发明（设计）人： | 冯巍;谢小刚 | 申请（专利权）人： | 新磊半导体科技（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | C30B25/12 | 分类号： | C30B25/12 |
| 代理公司： | 苏州华博知识产权代理有限公司 32232 | 代理人： | 郭帅 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市高新区*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种用于分子束外延生产设备中的托板结构，涉及半导体制造技术领域。该托板结构包括托板主体支架、多个第一子托板和多个第二子托板，第一与第二子托板的外部轮廓完全相同，托板主体支架上形成有紧密排布的多个主台阶型单元孔，每个单元孔的形状尺寸与第一或第二子托板的外部轮廓对应且用于承载第一或第二子托板，第一子托板内设置有用于承载第一尺寸衬底的至少一个第一子台阶型单元孔；第二子托板内设置有用于承载第二尺寸衬底的至少一个第二子台阶型单元孔，第一与第二尺寸不同。通过将子托板与托板主体支架分离，可分别加工用于不同尺寸衬底的子托板，而托板主体支架可以共享使用，从而节省了制备托板的材料，降低了生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 分子 外延 生产 设备 中的 板结 | ||
【主权项】：
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