[实用新型]一种大功率程控固态微波设备有效
| 申请号： | 201921429810.3 | 申请日： | 2019-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN210404328U | 公开（公告）日： | 2020-04-24 |
| 发明（设计）人： | 马文东;朱梁;吴则革;赵连敏;单家芳;刘甫坤 | 申请（专利权）人： | 中国科学院合肥物质科学研究院 |
| 主分类号： | H01S1/02 | 分类号： | H01S1/02;C23C16/517 |
| 代理公司： | 安徽合肥华信知识产权代理有限公司 34112 | 代理人： | 张果果 |
| 地址： | 230031 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种大功率程控固态微波设备，包含有微波锁相功率源，功分器，支路微波功率放大器，微波功率径向合路器，波导定向耦合器，控制设备，供电电源，水冷设备。微波锁相功率源输出稳定的微波信号，经过功分器，分别进入多支路微波功率放大器，放大后的微波信号通过微波功率径向合成器合成，波导同轴转换将同轴结构转换为波导结构，合成的微波功率经过波导馈入MPCVD反应腔。本实用新型采用程控固态微波设备作为MPCVD装置的微波功率源，便于实时控制，可以根据需要调节频率、功率和相位，使反应腔始终处于匹配状态，确保反应微波功率稳定，简化反应腔的调谐结构，可以提高金刚石膜的均匀度，提高金刚石膜的性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 大功率 程控 固态 微波 设备 | ||
【主权项】：
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