[实用新型]一种抛光液回收装置有效
| 申请号： | 201921459652.6 | 申请日： | 2019-09-04 |
| 公开（公告）号： | CN210819020U | 公开（公告）日： | 2020-06-23 |
| 发明（设计）人： | 祝斌;武卫;孙晨光;刘建伟;由佰玲;刘园;谢艳;杨春雪;刘秒;常雪岩;裴坤羽;吕莹;徐荣清 | 申请（专利权）人： | 天津中环领先材料技术有限公司 |
| 主分类号： | B24B29/02 | 分类号： | B24B29/02;B24B57/00;B24B57/02;G01N33/00;F24H9/18;F24H9/20;B01D29/03;B01D29/56 |
| 代理公司： | 天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213 | 代理人： | 栾志超 |
| 地址： | 300384 天津市滨海*** | 国省代码： | 天津;12 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供一种抛光液回收装置，包括粗抛单元和回收单元，粗抛单元包括粗抛液混合桶和粗抛液缓冲桶，粗抛液缓冲桶输入端与粗抛液混合桶连通，输出端与抛光机连通；回收单元包括粗抛液回收桶、PH检测仪、粗抛液中转桶和KOH原液桶，粗抛液回收桶与抛光机输出端连通，PH检测仪输入端与粗抛液回收桶输出端连通，PH检测仪输出端分别与粗抛液混合桶和粗抛液中转桶的输入端连通；KOH原液桶输出端分别与粗抛液中转桶和粗抛液混合桶输入端连通。本实用新型设计的粗抛液回收装置，结构设计合理且可控性高，粗抛液PH稳定且回收利用率高，硅片表面平整度一致性好，自动化程度高，生产效率高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 抛光 回收 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于天津中环领先材料技术有限公司，未经天津中环领先材料技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201921459652.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种抛光液配置装置
- 下一篇：一种油漆漆雾回收立卧式吸附设备
