[实用新型]一种用于生产高纯度单晶硅工艺用的机械密封装置

摘要

本实用新型公开一种用于生产高纯度单晶硅工艺用的机械密封装置，包括轴套，所述轴套一端通过销钉连接弹簧座，所述轴套另一端的凹槽处设有动环，所述动环卡在轴套上，所述动环前端与静环接触，所述动环和静环接触面设有金刚石涂层，所述静环的前端设有推环，所述静环卡接于推环上，所述推环位于弹簧座和轴套之间，所述推环与弹簧座之间销钉连接，而与轴套之间存在空隙，所述推环与弹簧座之间连接后形成有固定槽，所述固定槽内固定有弹簧。在本装置的静环和动环两个摩擦面之上，设置金刚石涂层，使机械密封的静环和动环的摩擦面产生的热大量减少，磨削也几乎很少，解决了对机械密封低温升低磨削的极严格要求。