[实用新型]一种基于管式炉的快速卷对卷气相沉积制备装置

摘要

本实用新型公开了一种基于管式炉的快速卷对卷气相沉积制备装置，管式加热炉的一端与第一密封仓密封连接，管式加热炉的另一端与第二密封仓密封连接；传动装置包括位于第一密封仓内的至少两个第一卷绕辊、位于第二密封仓内的至少两个第二卷绕辊、与第一卷绕辊连接的第一电机组、以及与第二卷绕辊连接的第二电机组；第一卷绕辊与第二卷绕辊一一对应，任一第一卷绕辊与对应的第二卷绕辊之间形成一气相沉积生长线。此时在管式加热炉内形成有多条气相沉积生长线，在工作时一个管式加热炉内有多条气相沉积生长线可以同时工作，从而有效提高沉积生长效率，使得气相沉积制备装置具有较高的沉积生长效率。