[实用新型]导气垫圈有效
| 申请号： | 201921465887.6 | 申请日： | 2019-09-04 |
| 公开（公告）号： | CN210322097U | 公开（公告）日： | 2020-04-14 |
| 发明（设计）人： | 张心强;靳毅;陈林;郜晨希;王迪;林琳;郑旭;远雁;刘瑞琪;李超波 | 申请（专利权）人： | 川北真空科技（北京）有限公司;中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G01L1/00 | 分类号： | G01L1/00;G01L13/06 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 秦广成 |
| 地址： | 102200 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种导气垫圈，属于专用于制造传感器的设备技术领域，其中，导气垫圈为环形结构，包括：垫圈本体，为环形结构，具有上、下两个结合面；导气凹槽，设置在所述垫圈本体的至少一个所述结合面上，所述导气凹槽连通所述垫圈本体的内外两侧；本实用新型的导气垫圈，在使用时，通过导气凹槽将垫圈本体的内外两侧连通，在不改变垫圈本体原来厚度的前提下，使垫圈本体内圈的空气在抽真空时，能够快速高效的排出，从而避免气体陷入在环形垫圈的内部，提高传感器在超高真空排气时的排气效率和排气效果。 | ||
| 搜索关键词： | 垫圈 | ||
【主权项】：
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