[实用新型]一种太阳能电池片输送装置和退火炉有效
| 申请号： | 201921468383.X | 申请日： | 2019-09-04 |
| 公开（公告）号： | CN210200688U | 公开（公告）日： | 2020-03-27 |
| 发明（设计）人： | 刘长峰 | 申请（专利权）人： | 济南德伟华智能技术有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677;H01L21/324;H01L21/67;H01L31/18 |
| 代理公司： | 济南舜昊专利代理事务所(特殊普通合伙) 37249 | 代理人： | 侯绪军 |
| 地址： | 250000 山东省济南市高*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及太阳能电池片退火炉领域。采用的技术方案是：一种太阳能电池片输送装置，包括沿太阳能电池片输送方向设置的多个输送单元，所述输送单元包括传输辊，所述传输辊上安装有与待输送太阳能电池片配合的柔性摩擦套。通过在传输辊上设置柔性柔性摩擦套，在使用传输辊对太阳能电池片输送时以增大与太阳能电池片之间的摩擦，防止输送装置振动所造成太阳能电池片偏离的现象发生，进而达到对太阳能电池片实现更好的处理效果。为了对太阳能电池片进行更好的退火处理，本方案在该输送装置的基础上还提供了一种退火炉。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 太阳能电池 输送 装置 退火炉 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
