[实用新型]一种MEMS麦克风及其抗吹气结构有效

专利信息
申请号: 201921471484.2 申请日: 2019-09-05
公开(公告)号: CN210351642U 公开(公告)日: 2020-04-17
发明(设计)人: 杨国庆;仪保发 申请(专利权)人: 朝阳聚声泰(信丰)科技有限公司
主分类号: H04R19/04 分类号: H04R19/04;H04R31/00
代理公司: 苏州润桐嘉业知识产权代理有限公司 32261 代理人: 李蓉蓉
地址: 341600 江西省*** 国省代码: 江西;36
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摘要: 本实用新型涉及声电转换领域,尤其涉及一种MEMS麦克风及其抗吹气结构,包括线路板,所述线路板上设有声孔,所述线路板上方固定有外壳,所述线路板与外壳形成的声腔内固定有MEMS芯片,所述MEMS芯片通过抗吹气组件固定在前述声孔位置,所述抗吹气组件由柔性膜片、垫圈和刚性背极组成,所述柔性膜片与前述线路板相固定,所述柔性膜片上声孔位置固定有多个气孔Ⅰ,所述垫圈固定在柔性膜片与刚性背极之间,所述垫圈上与前述气孔Ⅰ对应位置固定有通孔,所述刚性背极上与垫圈上通孔对应位置固定有多个气孔Ⅱ。通过本发明能有效避免MEMS芯片上振膜被大气流冲击发生破裂,造成结构损坏,进而影响性能甚至导致麦克风失效。
搜索关键词: 一种 mems 麦克风 及其 吹气 结构
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