[实用新型]一种MEMS麦克风及其抗吹气结构有效
申请号: | 201921471484.2 | 申请日: | 2019-09-05 |
公开(公告)号: | CN210351642U | 公开(公告)日: | 2020-04-17 |
发明(设计)人: | 杨国庆;仪保发 | 申请(专利权)人: | 朝阳聚声泰(信丰)科技有限公司 |
主分类号: | H04R19/04 | 分类号: | H04R19/04;H04R31/00 |
代理公司: | 苏州润桐嘉业知识产权代理有限公司 32261 | 代理人: | 李蓉蓉 |
地址: | 341600 江西省*** | 国省代码: | 江西;36 |
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摘要: | 本实用新型涉及声电转换领域,尤其涉及一种MEMS麦克风及其抗吹气结构,包括线路板,所述线路板上设有声孔,所述线路板上方固定有外壳,所述线路板与外壳形成的声腔内固定有MEMS芯片,所述MEMS芯片通过抗吹气组件固定在前述声孔位置,所述抗吹气组件由柔性膜片、垫圈和刚性背极组成,所述柔性膜片与前述线路板相固定,所述柔性膜片上声孔位置固定有多个气孔Ⅰ,所述垫圈固定在柔性膜片与刚性背极之间,所述垫圈上与前述气孔Ⅰ对应位置固定有通孔,所述刚性背极上与垫圈上通孔对应位置固定有多个气孔Ⅱ。通过本发明能有效避免MEMS芯片上振膜被大气流冲击发生破裂,造成结构损坏,进而影响性能甚至导致麦克风失效。 | ||
搜索关键词: | 一种 mems 麦克风 及其 吹气 结构 | ||
【主权项】:
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