[实用新型]一种单晶硅材料雕刻机有效
| 申请号： | 201921486345.7 | 申请日： | 2019-09-09 |
| 公开（公告）号： | CN210850870U | 公开（公告）日： | 2020-06-26 |
| 发明（设计）人： | 阮起作 | 申请（专利权）人： | 昆山基仕拿电子科技有限公司 |
| 主分类号： | B28D5/00 | 分类号： | B28D5/00;B28D7/04 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种单晶硅材料雕刻机，包括固定座、调节丝杆、限位板、硅胶圆盘、第一密封阀、压力表、真空罐、吸气管、支撑筒以及泄压阀，操作台上端面安装有固定座，单晶硅片下端面中间位置贴合有硅胶圆盘，硅胶圆盘下端面安装有支撑筒，排气管环形侧面上侧装配有泄压阀，单晶硅片右侧安装有限位板，限位板内部右侧连接有调节丝杆，支撑筒左端面下侧连接有吸气管，吸气管环形侧面上侧装配有第一密封阀，吸气管左端面安装有真空罐，真空罐上端面安装有压力表，该设计解决了原有对单晶硅片夹持固定时容易对其造成损坏的问题，本实用新型结构合理，吸附固定性较好，避免传统夹持固定对单晶硅材料造成损坏。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 单晶硅 材料 雕刻 | ||
【主权项】：
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