[实用新型]超高真空极低温原位多探针输运测量系统有效
| 申请号： | 201921487278.0 | 申请日： | 2019-09-06 |
| 公开（公告）号： | CN210775556U | 公开（公告）日： | 2020-06-16 |
| 发明（设计）人： | 王文杰 | 申请（专利权）人： | 仪晟科学仪器（嘉兴）有限公司 |
| 主分类号： | G01Q60/00 | 分类号： | G01Q60/00;G01Q30/16;G01Q30/10;G01Q70/06 |
| 代理公司： | 嘉兴启帆专利代理事务所(普通合伙) 33253 | 代理人： | 张抗震 |
| 地址： | 314000 浙江省嘉兴市南湖区亚*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种超高真空极低温原位多探针输运测量系统，包括快速进样室、生长室、输运测试室、真空互联系统、系统支架及电源系统，其中快速进样室主要实现大气和超高真空环境之间快速传递样品和针尖；生长室主要在高温下实现指定图案薄膜器件和电极的生长；输运测量室主要实现生长好的薄膜器件在极低温下的原位多探针输运测量；真空互联系统主要实现系统与其他系统的真空连接。本实用新型公开的一种超高真空极低温原位多探针输运测量系统，其可以通过真空环境和制冷技术，能够实现从低温到室温的样品温度控制。 | ||
| 搜索关键词： | 超高 真空 低温 原位 探针 输运 测量 系统 | ||
【主权项】：
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