[实用新型]一种可高效抽真空的光学用抽真空装置有效
| 申请号： | 201921489607.5 | 申请日： | 2019-09-09 |
| 公开（公告）号： | CN211112203U | 公开（公告）日： | 2020-07-28 |
| 发明（设计）人： | 杨玉飞 | 申请（专利权）人： | 江阴慕达斯真空设备有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 214400 江苏省无*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型属于抽真空装置技术领域，尤其为一种可高效抽真空的光学用抽真空装置，包括真空镀膜室、光学镀膜加热机、抽真空机、气流调节箱和余热暂存气囊，真空镀膜室内腔的底端固定安装有光学镀膜加热机，光学镀膜加热机的边侧环绕固定有余热吸收环腔，抽真空机与真空镀膜室通过抽气导管导通连接，抽气导管的外侧套接有保温套管，保温套管与抽气导管之间构成热交换环腔，本实用新型通过在光学镀膜加热机边侧设置余热吸收环腔吸收其工作时产生的热能，并将热能进入余热暂存气囊中存储，余热经过电动涡轮增压风机和风量调节阀的驱动调节进入抽气导管和保温套管之间热交换环腔中，对抽气导管加热，避免其降温结冰，保持抽真空机的高效运行。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高效 真空 光学 装置 | ||
【主权项】：
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