[实用新型]一种适用于曲面成像的焦平面探测器有效
| 申请号： | 201921494573.9 | 申请日： | 2019-09-10 |
| 公开（公告）号： | CN210862938U | 公开（公告）日： | 2020-06-26 |
| 发明（设计）人： | 叶振华;张伟婷;陈星;刘丰硕;孙常鸿 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海技术物理研究所 |
| 主分类号： | G01J5/20 | 分类号： | G01J5/20;H01L27/144 |
| 代理公司： | 上海沪慧律师事务所 31311 | 代理人： | 郭英 |
| 地址： | 200083 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本专利提供一种适用于曲面成像的焦平面探测器，所述的适用于曲面成像的焦平面探测器包括：支撑衬底；赋形焦平面阵列，位于所述支撑衬底的表面，赋形焦平面阵列和支撑衬底的曲面形状保持一致。采用这种结构可以始终保持光线聚焦在焦平面探测器上，不需要通过复杂的光学校正计算便可以保证最大程度的成像效果，该结构适合大视场、大面阵高分辨率成像。所述的制备方法使用了PDMS柔性模具对硅基焦平面进行赋形，并且使用紫外固化材料和紫外光照进行定形，过程简单，成形过程不需要复杂昂贵的仪器和设备，并且制备效率高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 适用于 曲面 成像 平面 探测器 | ||
【主权项】：
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