[实用新型]一种具有除尘功能的硅靶材研磨装置有效
| 申请号： | 201921495960.4 | 申请日： | 2019-09-10 |
| 公开（公告）号： | CN210360835U | 公开（公告）日： | 2020-04-21 |
| 发明（设计）人： | 陈华鑫;高毅;苏志民;杨开怀 | 申请（专利权）人： | 厦门格雷迪科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/00 | 分类号： | B24B37/00;B24B37/34;B24B55/06;B24B55/12 |
| 代理公司： | 泉州市兴博知识产权代理事务所(普通合伙) 35238 | 代理人： | 王成红 |
| 地址： | 361100 福建省厦门市火*** | 国省代码： | 福建;35 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种具有除尘功能的硅靶材研磨装置，包括研磨机本体和除尘组件，所述研磨机本体顶部设置有一集气罩，该集气罩顶部两侧对称设置有两组气泵，所述除尘组件设置于该集气罩顶部中心，且所述除尘组件通过所述气泵与所述集气罩连通，所述除尘组件顶部设置有定位架。有益效果在于：本实用新型通过下压顶杆以带动集尘袋进入箱体内并实现翻转，从而将集尘袋内外壁进行调换，以将集尘袋内粘附的粉尘翻转到集尘袋外侧，而后通过上下抽动连杆以带动刮板移动，从而通过刮板上的刷毛孔对集尘袋上粘附的粉尘进行扫除，集尘袋的清洁过程无需开启箱体，实用性强。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 除尘 功能 硅靶材 研磨 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于厦门格雷迪科技有限公司，未经厦门格雷迪科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201921495960.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
