[实用新型]一种晶圆承载装置有效
| 申请号： | 201921520213.1 | 申请日： | 2019-09-12 |
| 公开（公告）号： | CN211491018U | 公开（公告）日： | 2020-09-15 |
| 发明（设计）人： | 赵德文;刘远航;孟松林 | 申请（专利权）人： | 清华大学;华海清科股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/10 | 分类号： | B24B37/10;B24B37/30;B24B53/017;H01L21/673 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100084*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种晶圆承载装置，包括承载头和上部气动组件，所述承载头通过连接组件耦接至所述上部气动组件，所述连接组件包括定位销和具有定位销孔的法兰盘，所述定位销和法兰盘由金属材料制成，所述定位销的部分或全部表面设置有非金属结构使得所述定位销与所述法兰盘接触不产生金属污染物。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 承载 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于清华大学;华海清科股份有限公司，未经清华大学;华海清科股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201921520213.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种新型婴儿保暖抢救台
- 下一篇：一种水上垃圾打捞设备传送结构
