[实用新型]一种MEMS结构有效
| 申请号： | 201921520786.4 | 申请日： | 2019-09-09 |
| 公开（公告）号： | CN210609696U | 公开（公告）日： | 2020-05-22 |
| 发明（设计）人： | 刘端 | 申请（专利权）人： | 安徽奥飞声学科技有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/00 | 分类号： | H04R19/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 230092 安徽省合肥市高新区习友路333*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种MEMS(微机电系统)结构，包括：衬底，具有空腔；压电复合振动层，形成在所述衬底上方并且覆盖所述空腔，所述压电复合振动层在外围区域具有分割槽；质量块，形成在所述压电复合振动层的上表面的中间区域。本申请的MEMS结构中的分割槽形成在压电复合振动层的外围区域，并且质量块形成在压电复合振动层的上表面的中间区域。因此，压电复合振动层的中间区域并未被分割槽隔离开，从而提高了MEMS结构的稳定性和产品的一致性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 结构 | ||
【主权项】：
暂无信息
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