[实用新型]一种半导体结构有效
申请号: | 201921523078.6 | 申请日: | 2019-09-12 |
公开(公告)号: | CN211125657U | 公开(公告)日: | 2020-07-28 |
发明(设计)人: | 程凯 | 申请(专利权)人: | 苏州晶湛半导体有限公司 |
主分类号: | H01L29/06 | 分类号: | H01L29/06;H01L29/872 |
代理公司: | 北京布瑞知识产权代理有限公司 11505 | 代理人: | 孟潭 |
地址: | 215123 江苏省苏州市苏州工*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本申请公开了一种半导体结构,该半导体结构包括:支撑层;分布于所述支撑层上的图形化氮化物外延层,所述图形化氮化物外延层中的图形结构彼此分离设置,并在支撑层水平方向上分布;第一电极,所述第一电极与图形化氮化物外延层相接触;第二电极,所述第二电极与支撑层相接触。本申请的半导体结构通过引入图形化外延层,在外延层厚度增大时可以大大减少应力,避免了外延层翘曲甚至龟裂,显著增加外延层生长的厚度。 | ||
搜索关键词: | 一种 半导体 结构 | ||
【主权项】:
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