[实用新型]一种高性能DFB激光器外延结构有效
申请号: | 201921537461.7 | 申请日: | 2019-09-17 |
公开(公告)号: | CN210838445U | 公开(公告)日: | 2020-06-23 |
发明(设计)人: | 单智发;张永;姜伟;陈阳华 | 申请(专利权)人: | 全磊光电股份有限公司 |
主分类号: | H01S5/12 | 分类号: | H01S5/12;H01S5/22;H01S5/343 |
代理公司: | 苏州翔远专利代理事务所(普通合伙) 32251 | 代理人: | 刘计成 |
地址: | 361000 福建省厦门市火炬*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | 本实用新型提供一种高性能DFB激光器外延结构,InP衬底上从下至上依次沉积有N‑InP缓冲层,N‑AlInAs限制层、非掺杂AlGaInAs下波导层、非掺杂AlGaInAs量子阱、非掺杂AlGaInAs上波导层、非掺杂P型掺杂的AlInAs限制层、非掺杂P‑InP过渡层、非掺杂InGaAsP光栅层、非掺杂InP联接层、非掺杂第一InGaAsP势垒渐变层、非掺杂第二InGaAsP势垒过渡层及非掺杂InGaAs欧姆接触层,非掺杂P‑InP过渡层中插入第一非掺杂InGaAsP异质结超晶格层和第二非掺杂InGaAsP异质结超晶格层。该DFB激光器外延结构调制速率大,温度特性好,可靠性好。 | ||
搜索关键词: | 一种 性能 dfb 激光器 外延 结构 | ||
【主权项】:
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