[实用新型]一种新型摇摆式平面研磨装置有效

专利信息
申请号: 201921550024.9 申请日: 2019-09-18
公开(公告)号: CN211163518U 公开(公告)日: 2020-08-04
发明(设计)人: 文东辉;王辉;肖燏婷;章益栋;沈思源;许鑫祺 申请(专利权)人: 浙江工业大学
主分类号: B24B47/12 分类号: B24B47/12;B24B47/16;B24B37/10
代理公司: 杭州斯可睿专利事务所有限公司 33241 代理人: 王利强
地址: 310014 浙江省*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 一种新型摇摆式平面研磨装置,包括固定竖板、工件盘,配重盘,插杆,卡盘,卡盘通过键连接固定连接轴Ⅴ上,并通过轴端挡圈和螺栓固定轴Ⅴ的下部;插杆的上部卡在卡盘中,插杆的下部套在工件盘对应的孔中,工件盘和研磨盘相接触。通过一个电机带动工件盘的形成无理数的自转,同时另一个电机带动工件盘做可变摆角的圆弧摇摆运动,使得工件盘在研磨过程中实现自转和摇摆两个运动,实现研磨轨迹线的不闭合,增加轨迹线在研磨盘的分布范围。本实用新型改善平面研磨盘的盘磨损、提高研磨效率和精度。
搜索关键词: 一种 新型 摆式 平面 研磨 装置
【主权项】:
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