[实用新型]一种激光传输和探测系统有效
申请号: | 201921556874.X | 申请日: | 2019-09-19 |
公开(公告)号: | CN210375415U | 公开(公告)日: | 2020-04-21 |
发明(设计)人: | 马晓燠;杨奇龙;饶学军;汪韬;盛良睿 | 申请(专利权)人: | 重庆连芯光电科技有限公司 |
主分类号: | G01J1/04 | 分类号: | G01J1/04;G01J1/42 |
代理公司: | 重庆智慧之源知识产权代理事务所(普通合伙) 50234 | 代理人: | 余洪 |
地址: | 400021 重庆市*** | 国省代码: | 重庆;50 |
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摘要: | 本实用新型提供了一种激光传输和探测系统,包括传输系统和探测系统,传输系统包括激光器、真空管、CCD探测组件,CCD探测组件包括检测探测器、缩束器、密封仓、波纹管、光栅尺、位移驱动器;激光器连接真空管,缩束器、检测探测器依次设置,检测探测器通过位移驱动器连接并固定在密封仓内,密封仓内通过机械结构固定有光栅尺,密封仓固定在被测基准上,密封仓通过波纹管固定在真空管上;探测系统包括:数据采集单元、数据处理单元、数据储存单元连接工控机,数据采集单元连接检测探测器。本实用新型提供的一种激光传输和探测系统,能够建立激光传输通道,并且通过探测与基准激光束的相对位置计算光斑位移确定基准间偏差。 | ||
搜索关键词: | 一种 激光 传输 探测 系统 | ||
【主权项】:
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