[实用新型]一种适用于PECVD设备的桨杆装置有效
| 申请号： | 201921563314.7 | 申请日： | 2019-09-19 |
| 公开（公告）号： | CN210575881U | 公开（公告）日： | 2020-05-19 |
| 发明（设计）人： | 王玉明;刘景博;陈晖;张庶 | 申请（专利权）人： | 苏州拓升智能装备有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677;H01L31/18;C23C16/458 |
| 代理公司： | 北京远大卓悦知识产权代理事务所(普通合伙) 11369 | 代理人： | 韩飞 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种适用于PECVD设备的桨杆装置，包括：桨杆组件；以及固接于所述桨杆组件末端的承重杆夹紧组件；其中，所述承重杆夹紧组件末端固接有高度调节组件，所述高度调节组件可对所述承重杆夹紧组件末端高度微调。本实用新型具有采用增大接触面积及夹持组件之间材料硬度差异化的办法即增大了摩擦因数，适当减小装夹力，既能满足装夹要求，又可避免被夹持零件的损伤，调节组件即可微调推舟前端高度又可抑制推舟搬运石墨舟时产生的倾覆的有益效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 适用于 pecvd 设备 装置 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
