[实用新型]一种用于真空镀膜设备的载板有效
| 申请号： | 201921581620.3 | 申请日： | 2019-09-23 |
| 公开（公告）号： | CN210916243U | 公开（公告）日： | 2020-07-03 |
| 发明（设计）人： | 陈晨;周剑;张永胜;孙健;王青松;其他发明人请求不公开姓名 | 申请（专利权）人： | 苏州迈正科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人： | 孙仿卫 |
| 地址： | 215200 江苏省苏州市吴*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： |
一种用于真空镀膜设备的载板，包括：具有多个镂空网格的基板、用于放置待镀品的石墨盒，其中，石墨盒嵌入镂空网格中，石墨盒上覆盖有一层或多层薄膜，薄膜与石墨盒在100℃‑550℃的温度范围内保持结合状态，薄膜与氟离子不发生化学反应，通过采用石墨或碳纤维材质的基板，并在基板上嵌入用于放置待镀品的石墨盒，成本低、导电性能好、不易变形、耐高温、耐氟腐蚀，通过在载板上的石墨盒上覆盖一层或多层与石墨盒在100℃‑550℃的温度范围内保持结合状态的薄膜，并且薄膜不被氟离子腐蚀或者氟复合系数小于5X10 |
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| 搜索关键词： | 一种 用于 真空镀膜 设备 | ||
【主权项】：
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