[实用新型]一种用于晶硅的上下料单元有效
申请号: | 201921583444.7 | 申请日: | 2019-09-23 |
公开(公告)号: | CN211306981U | 公开(公告)日: | 2020-08-21 |
发明(设计)人: | 张璐;郭党;刘钢;张善雷;孙承政;陈俊儒 | 申请(专利权)人: | 青岛高测科技股份有限公司 |
主分类号: | B28D5/00 | 分类号: | B28D5/00 |
代理公司: | 北京卓岚智财知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11624 | 代理人: | 郭智 |
地址: | 266000 山东省青*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种用于晶硅的上下料单元,涉及晶硅加工设备技术领域,该晶硅的上下料单元与晶硅切片装置配合使用,其包括底座以及位于底座上的晶硅存储机构,所述晶硅存储机构沿着晶硅的轴向分为两级,其分为上料组件和下料组件,输送机构位于所述晶硅存储机构的上方,位于上料组件和下料组件上的晶硅均通过晶硅固定装置相固定,所述输送机构通过支撑框架与底座连接,其包括升降组件和输送组件,升降组件与支撑框架固连,输送组件通过支撑板与升降组件产生相对运动,具有实现晶硅切片上下料的一体化和自动化、使用前景广阔。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 上下 单元 | ||
【主权项】:
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