[实用新型]一种多晶硅铸锭炉有效

专利信息
申请号: 201921584301.8 申请日: 2019-09-23
公开(公告)号: CN210506588U 公开(公告)日: 2020-05-12
发明(设计)人: 吴君立;黄纪德;曹瑞宏;龚宇琦;夏志鹏;朱惠君;张昕宇;金浩 申请(专利权)人: 浙江晶科能源有限公司;晶科能源有限公司
主分类号: C30B28/06 分类号: C30B28/06;C30B29/06
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 薛娇
地址: 314416 浙江*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 实用新型公开了一种多晶硅铸锭炉,包括:用于承载铸锭硅料的坩埚;用于支撑坩埚的DS块;可拆卸地设于DS块背离坩埚底部的表面,用于调节坩埚底部热场分布的保温块和散热块;其中,保温块和散热块在所述DS块表面分布位置可调。本申请中在铸锭炉内部,用于支撑坩埚的DS块上设置保温块和散热块,既能够对散热过快的位置保温,又能够对散热过慢的位置加快散热;相对于现有技术中仅仅通过隔热层调节热场温度,本申请中同时采用散热块和保温块进行温度调节,具有更好的调节效果;另外,本申请中保温块和散热块采用可拆卸的方式连接,以便基于铸锭工艺的不同需要,改变保温块和散热块的布局,提高对铸锭炉热场的调节能力。
搜索关键词: 一种 多晶 铸锭
【主权项】:
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