[实用新型]一种无变压器的PECVD的电加热炉体

摘要

本实用新型公开了一种无变压器的PECVD的电加热炉体，包括炉壳和炉丝组件，炉丝组件包括至少一个主控段炉丝和两个附控段炉丝，主控段炉丝和两个附控段炉丝相互独立，各主控段炉丝设于两个附控段炉丝的中间，每个主控段炉丝对应设有一对接线结构，每个附控段炉丝对应设有一对接线结构，各对接线结构设于炉壳上。本实用新型将原有的一根炉丝分成多段独立的炉丝，每段炉丝的电阻减少，相应的需要的电压也减少，每段炉丝两端单独接220V电压即可满足，一个炉体节省一台变压器，降低设备成本、减少安装调试工作量、节省了设备的空间。