[实用新型]一种超精密加工定位平台有效
申请号: | 201921597976.6 | 申请日: | 2019-09-25 |
公开(公告)号: | CN211125041U | 公开(公告)日: | 2020-07-28 |
发明(设计)人: | 毛文亮 | 申请(专利权)人: | 甘肃机电职业技术学院(甘肃省机械工业学校;甘肃省机械高级技工学校) |
主分类号: | G12B5/00 | 分类号: | G12B5/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 741000 甘*** | 国省代码: | 甘肃;62 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种超精密加工定位平台,包括基座,所述基座上端中部对称安装有Y向导轨,Y向导轨上端中部沿Y向安装有Y向导轨永磁阵列,所述Y向导轨顶部两端固定安装有Y向导轨定子线圈绕组,所述Y向导轨上滑动连接Y向导轨滑板,Y向导轨滑板内侧对应Y向导轨永磁阵列安装有Y向滑板永磁阵列,所述Y向导轨滑板内侧台肩处对称安装有Y向滑板定子线圈绕组。本实用新型在结构上设计合理,本实用新型将永磁阵列与定子线圈绕组组成的直线电机在超精密微动定位平台中的应用可使工作台沿X、Y、Z轴做纳米级微动和微小转动,实现工作台6自由度超精密微动定位,具有反应速度快、灵敏度高、定位精确以及结构简单等优点。 | ||
搜索关键词: | 一种 精密 加工 定位 平台 | ||
【主权项】:
暂无信息
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