[实用新型]一种多工位曝光装置有效
| 申请号： | 201921609674.6 | 申请日： | 2019-09-25 |
| 公开（公告）号： | CN210348195U | 公开（公告）日： | 2020-04-17 |
| 发明（设计）人： | 马迪;吴景舟;陈亮;陈国军;王群;朱鹏飞;孙行;冯梦飞;潘钰;林全海 | 申请（专利权）人： | 钧迪智能装备科技（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京汇捷知识产权代理事务所(普通合伙) 11531 | 代理人： | 李宏伟 |
| 地址： | 215100 江苏省苏州市吴中区木渎镇金山南路868号*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种多工位曝光装置，包括机座，所述机座上设置有工作平台，所述工作平台上设置有上下料工位、定位检测工位和曝光工位，所述工作平台上转动安装有载物转盘，所述载物转盘的板面覆盖所述上下料工位、定位检测工位和曝光工位，所述载物转盘由旋转动力装置驱动旋转，所述工作平台上位于定位检测工位处安装有对定位检测工位上的工件进行定位检测的定位检测装置，所述工作平台上位于曝光工位安装有对曝光工位上的工件进行曝光的曝光机构，所述机座上安装有在上下料工位进行上下料操作的上下料机构。该多工位曝光装置在曝光的过程中同步完成工件的定位和上下料，节省了定位检测和上下料的时间，提高了曝光效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多工位 曝光 装置 | ||
【主权项】：
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