[实用新型]基于垂直S型结的耐高压元件有效
| 申请号： | 201921610277.0 | 申请日： | 2019-09-25 |
| 公开（公告）号： | CN210866182U | 公开（公告）日： | 2020-06-26 |
| 发明（设计）人： | 明辰;曲迪;白国人;王磊;李康 | 申请（专利权）人： | 天津华慧芯科技集团有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/40 | 分类号： | H01L29/40;H01L29/06;H01L21/28 |
| 代理公司： | 天津市鼎和专利商标代理有限公司 12101 | 代理人： | 蒙建军 |
| 地址： | 300467 天津市滨海新区生态城*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种基于垂直S型结的耐高压元件，涉及半导体技术领域，其特征在于：至少包括：单晶硅片、位于单晶硅片上表面的第二导电类型轻掺层、位于第二导电类型轻掺层一端的第一导电类型重掺杂层、位于第二导电类型轻掺层另一端的第二导电类型重掺层、与第一导电类型重掺杂层连通的第一电极、与所述第二导电类型重掺层连通的第二电极；相邻两条导电类型轻掺层之间为第一绝缘层；每条导电类型轻掺层的两侧均为第一绝缘层；第二导电类型轻掺层、第一绝缘层、第一导电类型重掺杂层和第二导电类型重掺层位于同一平面内；第一电极垂直于上述导电类型轻掺层；第二电极垂直于上述导电类型轻掺层；位于所述平面上的第二绝缘层。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 垂直 高压 元件 | ||
【主权项】：
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