[实用新型]一种管式镀膜石墨舟、管式加热炉及太阳能电池片

摘要

本申请公开了一种PECVD管式镀膜石墨舟，包括舟体及隔热板；所述舟体包括石墨舟页及连接块；所述连接块用于连接相邻的所述石墨舟页；所述隔热板设置在外舟页的外侧，与所述外舟页平行相隔有间距，用于减弱炉管至待镀膜硅片的热辐射；所述隔热板与所述舟体之间无电连接。本申请通过在所述舟体外侧增设隔热板，并规定所述隔热板与所述舟体绝缘，以免短路。本申请通过减弱垂直于所述石墨舟页的方向的热辐射，进而降低所述舟体外侧与内侧的温度差，提高整舟的硅片镀层的膜厚与折射率的均匀性和一致性。本申请同时还提供了一种具有上述有益效果的管式加热炉及太阳能电池片。