[实用新型]一种防静电光罩

摘要

本实用新型提供一种防静电光罩，所述光罩在光罩图形外侧设置有静电保护结构，所述静电保护结构包括多个间隔设置的放电结构，不仅可使光罩上积累的静电电荷在远离光罩图形处进行尖端放电，保证光罩图形完整性及晶圆良率；还可在其基础上有效减少光罩在制备静电保护结构时的复杂度及时间。同时每个放电结构均包括至少一个放电单元，每个放电单元包括实体放电部分和镂空部分，本实用新型提供了多种镂空部分的结构图形，对应不同的实体放电部分图形，并给出各图形数量、尺寸规格、排列组合方式以及各放电单元数量、组合连接方式的多种变化形式，使光罩可应对静电放电过程中产生的不同大小的静电电流，大大提升光罩的静电防护能力及其应用范围。