[实用新型]一种晶圆研磨机用进料装置有效
| 申请号： | 201921631466.6 | 申请日： | 2019-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN210678285U | 公开（公告）日： | 2020-06-05 |
| 发明（设计）人： | 乔金彪 | 申请（专利权）人： | 苏州斯尔特微电子有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/27 | 分类号： | B24B37/27;B24B37/34;B24B41/00 |
| 代理公司： | 苏州铭浩知识产权代理事务所(普通合伙) 32246 | 代理人： | 张一鸣 |
| 地址： | 215000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种晶圆研磨机用进料装置，包括旋转台、进料托盘托架、进料托盘、红外线接收器、单片机和电动推杆，所述进料托盘的顶部开设有晶圆放置槽，所述晶圆放置槽的中心位置开设有气槽，所述进料托盘的底部表面中间位置设置有与气槽相连通的电动推杆安装筒，且电动推杆安装筒与进料托盘为一体式结构，所述电动推杆安装筒的底部表面上设置有电动推杆，所述电动推杆通过螺丝与电动推杆安装筒固定连接，且电动推杆的伸缩端竖直向上并插入电动推杆安装筒的内部，本实用新型在使用时，通过电动推杆带动活塞向下移动，使气槽和电动推杆安装筒内部产生负压，从而使的晶圆紧紧的吸附在晶圆放置槽的内部，能有效的防止晶圆滑动。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 研磨机 进料 装置 | ||
【主权项】：
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