[实用新型]真空吸附装置有效
| 申请号： | 201921634520.2 | 申请日： | 2019-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN210650147U | 公开（公告）日： | 2020-06-02 |
| 发明（设计）人： | 王建新 | 申请（专利权）人： | 西安奕斯伟硅片技术有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/27 | 分类号： | B24B37/27;B24B41/06;B01D45/02 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 许静;刘伟 |
| 地址： | 710065 陕西省西安市*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种真空吸附装置，包括：真空吸附盘，所述真空吸附盘的中心设置有第一吸气口；气液分离结构，包括入口和出口，所述入口通过第一管道与所述第一吸气口连通；文丘里管，包括位于相对的两端的第一进气口和第一出气口，以及位于侧面的第二进气口，所述第二进气口与所述气液分离结构的所述出口连通。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 吸附 装置 | ||
【主权项】：
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