[实用新型]掩膜装置有效

专利信息
申请号: 201921634873.2 申请日: 2019-09-27
公开(公告)号: CN210514931U 公开(公告)日: 2020-05-12
发明(设计)人: 王乡 申请(专利权)人: 珠海迈时光电科技有限公司
主分类号: G03F1/64 分类号: G03F1/64
代理公司: 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 代理人: 叶琦炜
地址: 519000 广东省珠海市香洲区南屏*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 实用新型涉及显示面板曝光技术领域,公开了一种掩膜装置,解决了无需取下掩膜架,则可实现掩膜板的直接更换。本实用新型包括:掩膜架,设有用于吸附待加工件的真空吸附孔;框架,与所述掩膜架转动连接,使所述掩膜架在所述框架内翻转。本实用新型利用掩膜架与框架的转动连接,可使掩膜架直接在框架上实现翻转,则在更换待加工件时,无需将掩膜架取下,只要翻转掩膜架,即可在框架上对待加工件进行更换,不仅简化了待加工件更换的操作流程,同时还可避免对掩膜架造成污染,避免了影响成品质量,从而提高了成品合格率。
搜索关键词: 装置
【主权项】:
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