[实用新型]一种具有可调节工作台的晶圆切割机有效
| 申请号： | 201921640843.2 | 申请日： | 2019-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN210819007U | 公开（公告）日： | 2020-06-23 |
| 发明（设计）人： | 路崧;王瑾;曹锋;刘育明;李剑锋;周成全;刘正锋;高云峰 | 申请（专利权）人： | 大族激光科技产业集团股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B27/06 | 分类号： | B24B27/06;B24B41/06 |
| 代理公司： | 深圳众鼎专利商标代理事务所(普通合伙) 44325 | 代理人： | 吴英铭 |
| 地址： | 518000 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种具有可调节工作台的晶圆切割机，包括吸盘固定座、驱动电机和陶瓷吸盘，所述驱动电机的输出轴连接于所述吸盘固定座，所述驱动电机用于驱动所述吸盘固定座旋转，所述吸盘固定座上设有凹槽，所述陶瓷吸盘设置在所述凹槽内，还包括至少三个竖向调节机构，所述竖向调节机构连接在所述驱动电机上，所述竖向调节机构用于设置在预设平面上并调节所述陶瓷吸盘的平面度，达到调节陶瓷吸盘的平面度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 调节 工作台 切割机 | ||
【主权项】：
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