[实用新型]高纯氨水制备设备有效

专利信息
申请号: 201921642852.5 申请日: 2019-09-29
公开(公告)号: CN211035256U 公开(公告)日: 2020-07-17
发明(设计)人: 童晨 申请(专利权)人: 昆山晶科微电子材料有限公司
主分类号: C01C1/02 分类号: C01C1/02
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 215000 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型公开了高纯氨水制备设备,包括液氨储罐、液氨气化器、冷却水槽、加热水槽、以及连接有混合水注入系统的混合釜,液氨储罐与液氨气化器通过进料管路连接,液氨气化器、以及混合釜的内部均设有双层盘管,加热水槽与液氨气化器内的双层盘管通过进水管路一连接,液氨气化器内的双层盘管与冷却水槽通过出水管路一连接,液氨气化器与混合釜通过进气管路连接,冷却水槽与混合釜内的双层盘管通过进水管路二连接,混合釜内的双层盘管与加热水槽通过出水管路二连接,本实用新型通过在液氨气化器、以及混合釜的内部设置双层盘管,在使注入液氨气化器内的液氨受热均匀的同时,还能对混合釜内散发的热量进行均匀吸收,提高了氨水制备的效果。
搜索关键词: 高纯 氨水 制备 设备
【主权项】:
暂无信息
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